Fundamental Principles Of Optical Lithography - Mack - Mechanical engineering and materials - John Wiley & Sons - Paperback

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Beschreibung

Fundamental Principles Of Optical Lithography - Mack - Mechanical engineering and materials - John Wiley & Sons - Paperback

Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter.
  • Marke: Unbranded
  • Kategorie: Wissenschaft, Medizin und Natur
  • Format: Paperback
  • Autor: Mack
  • Verlag / Label: John Wiley & Sons
  • Sprache: English
  • Seitenzahl: 534
  • Fruugo-ID: 48818194-96996626
  • ISBN: 9780470727300

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