Introduction To Focused Ion Beam Nanometrology

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Introduction To Focused Ion Beam Nanometrology

This Book Describes Modern Focused Ion Beam Microscopes And Techniques And How They Can Be To Aid Materials Metrology And As Tools For The Fabrication Of Devices That In Turn Are In Many Other Aspects Of Fundamental Metrology.
  • Identifiant Fruugo: 557102689-1125371655
  • ISBN: 9781643278469
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