Fabricating Silicon Thin-film Transistors On Plastic At 300c

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Fabricating Silicon Thin-film Transistors On Plastic At 300c

It Is Not A Trivial Task To Fabricate Displays On Plastic And Significant Challenges Arise When Clear Plastic Is To Replace Glass As The Display Substrate. The Trend Has Been To Reduce The Deposition Temperature Of Amorphous Silicon Thin-film Transistors (a-si:h Tfts) In The Display Backplanes On Plastic But That Results In A-si:h Tfts With Poor Stability Under Gate-bias Stress. The Goal Of This Thesis Work Has Been To Develop A High-temperature Tft Process At 300c On Plastic To Enable Stable Backplanes That Are Competitive With Backplanes Fabricated On Glass.
  • Identifiant Fruugo: 557246180-1125515990
  • ISBN: 9783639192643
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