Micronano Integrated Fabrication Technology And Its Applications In Microenergy

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Micronano Integrated Fabrication Technology And Its Applications In Microenergy

This Book Presents A Universal Mass-production Micronano Integrated Fabrication Technology, Which Can Be To Realize Micronano Hierarchical Structures On Si-based Materials And Flexible Polymeric Materials. This Fabrication Technology Has Been Systematically Investigated By Using Experimental Measurements, Mechanism Analyses, Theoretical Simulations And So On. Three Common Materials (i.e., Silicon, Pdms And Parylene-c) With Micronano Hierarchical Structures Have Been Successfully Fabricated, Which Also Show Several Attractive Properties.
  • Marque: Springer Nature B.V
  • Catégorie: Informatique et Internet
  • Auteur: Xiao-Sheng Zhang
  • Nombre de pages: 144
  • Date de publication: 2015-12-08
  • Editeur / Label: Springer Nature B.V
  • Format: Hardcover
  • Langue: English
  • Identifiant Fruugo: 557254385-1125524251
  • ISBN: 9783662488140
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