Protonendotierung Von Silizium Untersuchung Und Modellierung Protoneninduzierter

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Protonendotierung Von Silizium Untersuchung Und Modellierung Protoneninduzierter

Johannes G. Laven Beschreibt Die Dotierung Von Kristallinem Silizium Mittels Protonenimplantationen Mit Energien Im Bereich Weniger Megaelektronenvolt. Hiermit Knnen Dotierungsprofile In Tiefen Zwischen Mikrometern Bis Weit Ber 100 M Erzeugt Und Modifiziert Werden.
  • Marque: Springer Nature B.V
  • Catégorie: Informatique et Internet
  • Auteur: Johannes G Laven
  • Nombre de pages: 334
  • Date de publication: 2014-10-21
  • Editeur / Label: Springer Nature B.V
  • Format: Paperback
  • Langue: English
  • Identifiant Fruugo: 557262622-1125532499
  • ISBN: 9783658073893
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