Optical Inspection of Microsystems

Là où les techniques conventionnelles de test et d'inspection échouent à l'échelle micrométrique, les techniques optiques offrent une alternative rapide, robuste et relativement peu coûteuse pour étudier les propriétés et la qualité des microsystèmes. Rapidité, fiabilité et coût sont des facteurs essentiels à la poursuite du développement de la technologie des microsystèmes dans de nombreux secteurs industriels, et les techniques optiques sont idéalement placées pour répondre aux exigences commerciales et industrielles modernes. L'ouvrage « Inspection optique des microsystèmes » est le premier panorama complet et actualisé des technologies de métrologie et d'inspection optiques de champ complet les plus importantes et les plus utilisées. Sous la direction du chercheur renommé Wolfgang Osten, des experts issus d'institutions industrielles et académiques du monde entier partagent leur savoir-faire et leur expérience des techniques telles que la corrélation d'images, la diffusion de la lumière, la microscopie à sonde à balayage, la microscopie confocale, la projection de franges, les techniques de grille et de moiré, la microscopie interférentielle, la vibrométrie laser Doppler, l'holographie, la métrologie de speckle et la spectroscopie. Ils examinent également les approches modernes d'acquisition et de traitement des données. L'ouvrage met l'accent sur l'évaluation de diverses propriétés afin d'accroître la fiabilité et de promouvoir une approche cohérente des tests optiques. De nombreux exemples pratiques et illustrations viennent étayer les concepts. Fourniture d'outils de pointe pour la fabrication et la caractérisation de microsystèmes. L'inspection optique des microsystèmes vous permet d'atteindre un niveau de qualité et de fiabilité supérieur dans les applications modernes à l'échelle micrométrique. . Langue : anglais